PESM 2026 : relier simulation plasma et procédés réels avec STMicroelectronics
Présentés par Julien Baderot à Grenoble, les travaux collaboratifs Pollen–STMicroelectronics sur les grilles FDSOI associent métrologie TEM automatisée par IA, jumeaux numériques et optimisation multiobjectif de la gravure plasma pour accélérer l’identification des fenêtres de procédé.
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