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PESM 2026：STMicroelectronicsとプラズマシミュレーション・実プロセスを接続

Julien Baderotがグルノーブルで紹介したPollenとSTMicroelectronicsのFDSOIゲートに関する共同研究。AIによるTEM自動計測、デジタルツイン、プラズマエッチングの多目的最適化を組み合わせ、プロセスウィンドウの特定を加速します。